系列	Pico系列
控制系统	半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积	4~15L
真空腔室	圆形不锈钢件，配有盖子（大约Φ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm）或者矩形不锈钢件，配有铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）
电极	单层或多层 RIE
样品支架	（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源	针型阀质量流量控制器 (MFCs)
压力计	Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器	数字型
高频电流发生器	40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有发生器均为 0 - ** 无级可调型
真空泵	KASHIYAMA
电源	台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。

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